Sistema de medida de la transmisión óptica de bajo coste con LED a 1.45 um: obtención del coeficiente de absorción del c-Si a altas temperaturas y monitorización in-situ de la recristalización de capas a-SiCx:H sobre c-Si.

by Torres Chavez, Ivaldo

Resumen de la tesis: Sistema de medida de la transmisi¨®n ¨®ptica de bajo coste con LED a 1.45 ¦Ìm: obtenci¨®n del coeficiente de absorci¨®n del c-Si a altas temperaturas y monitorizaci¨®n in-situ de la recristalizaci¨®n de capas a- SiCx:H sobre c-Si. Keywords: Equipo de medida de transmisi¨®n ¨®ptica, LED, Absorci¨®n Banda a banda, Absorci¨®n Cargas libres, c-Si, a-SiCx:H, Recristalizaci¨®n in-situ. Abstract En ¨¦ste trabajo se ha fabricado un quipo de medida que combina la alta temperatura con transmisi¨®n ¨®ptica, utilizando el espectro de emisi¨®n de un LED comercial de bajo coste de adquisici¨®n. A partir de las medidas de transmisi¨®n ¨®ptica se ha obtenido el coeficiente de absorci¨®n y a trav¨¦s de ¨¦ste conocer la temperatura del substrato de c-Si: As¨ª como para conocer los mecanismos fundamentales que intervienen en el proceso de la absorci¨®n ¨®ptica (Banda a banda y Cargas libres). S¨¦ ha ampliado ¨¦l modelo te¨®rico de calculo del coeficiente de absorci¨®n para ajustar las medidas echas con el espectro de emisi¨®n de un LED. El equipo construido s¨¦ ha empleado para monitorizar in-situ la fase de cristalizaci¨®n de las capas de a-SiCx:H intr¨ªnsecas y dopadas con f¨®sforo depositadas sobre substrato de c-Si. Los resultados obtenidos se han comparando con otras medidas ¨®pticas que involucran t¨¦cnicas diferentes: SEM, X-RD, FTIR, Monocromador, qu¨¦ confirman los resultados encontrados.